渗氦型标准漏孔又叫氦质谱检漏仪漏孔,氦质谱检漏仪标准漏孔是利用氦气对石英及大多数玻璃有高的渗透性这一特性制作。此类型漏孔对污染不敏感;长时间内漏率稳定;漏率可以做得很小。
技术规格
充装气体:氦气
漏率范围:一般在 10 -7 -10 -12 Pa·m 3 /s
示值允许偏差: ±15%
温度补偿:3%/℃
漏孔元件:玻璃渗透膜
抗堵塞能力:优异
稳定性:长时间内漏率稳定
阀门:手动(选配)
接口:KF25/M14*1.5(内)或定制
出口:真空
氦室容积:150mL/200mL
充压:不可自行充气加压
年衰减:(阀门常开)
10 -7 Pa·m 3 /s≤10%/y、10 -8 Pa·m 3 /s≤3%/y、
10 -9 Pa·m 3 /s≤1.5%/y、 10 -10 Pa·m 3 /s≤0.5%/y、
10 -11 Pa·m 3 /s≤0.3%/y 、10 -12 Pa·m 3 /s≤0.1%/y
应用
氦质谱检漏仪校准
作为氦质谱检漏仪内部标准漏孔
氦质谱检漏仪最小可检漏率校准
氦质谱检漏有效最小可检漏率校准
实际漏孔漏率的确定